东方晶源两款电子束量测检测设备交给新客户

发表时间:2022-07-03 12:46:42作者:亚博体彩中心

  【TechWeb】6月15日音讯,近来跟着上海复工复产的快速推进,东方晶源活跃安排设备交给作业,旗下电子束缺点检测(EBI)和要害尺度量测(CD-SEM)两台设备已顺畅交给上海客户。此次出机,是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内闻名晶圆代工厂后,再次赢得头部客户的喜爱和认可。一起,标志着东方晶源硬件产品敞开批量交给形式。

  据悉本次出机的电子束缺点检测设备型号为SEpA-i515,面向300mm硅片工艺制程,除具有该系列产品惯有的高灵敏度电性和物理缺点检测、有用处理28nm及以上良率问题、自主立异的高性能缺点检测引擎(DNA数据库)、根据深度学习的缺点主动分类(ADC)算法等产品特色外,东方晶源研制团队还在上一代产品的基础上优化晋级,使SEpA-i515具有更高的TPT和更优的渠道规划,设备运转功率、性能指标均有大幅提高。值得一提的是,上一代产品SEpA-i505 已经在国内头部晶圆代工厂量产一年,产品性能及稳定性得到充沛验证。

  另一台交给的产品为要害尺度量测设备,型号为SEpA-c410,面向300mm硅片工艺制程,通过先进的电子束成像体系和高速硅片传输计划,调配精准的量测算法,可完成高重复精度、高分辨率及高产能的要害尺度量测。该设备自上一年6月底进入国内头部晶圆代工厂以来产线验证开展顺畅,阶段性检验效果获得客户认可,正在活跃推进产线验证。

  东方晶源电子束量测检测设备,依托所承当的国家科技严重专项(02专项)电子束硅片图形缺点检测设备研制与工业化项目,通过数年攻坚克难,打破多项中心要害技术,从零部件到整机规划制作,均具有彻底自主知识产权,填补国内空白。现在,两款设备敞开批量交给形式,工业化进程获得丰硕效果。此次设备交给的客户所在地上海在我国集成电路工业具有无足轻重的位置,现在已经成为国内集成电路工业归纳水平高、工业链完好、工业生态环境好的集聚地之一。东方晶源非常垂青在上海的开展和布局,继核算光刻软件(OPC)进入上海头部晶圆代工企业后,硬件产品正式登陆上海。为更好的服务以上海为中心的长三角客户,东方晶源已于上一年8月份在上海建立子公司,构成北京总部、深圳子公司和上海子公司为中心的三地布局,推进企业靠近工业前沿高地,为集成电路制作企业带去优质的产品和服务,更好的与上下游企业携手推进工业开展的一起,构筑企业本身竞赛壁垒。

  东方晶源自建立以来,专心于芯片制作要害环节的良率操控和提高范畴,构成以核算光刻软件(OPC)、电子束量测检测配备硬件为中心的产品矩阵,并向更多相关范畴活跃布局。硬件方面,东方晶源已着手电子束缺点复检设备DR-SEM(Defect Review SEM)的研制作业,进一步夯真实国内电子束检测范畴抢先的商场位置和中心技术优势。软件方面,光刻工艺严厉仿真软件PanSim已经在客户侧进行验证,估计7月底release V1.0版别。未来,东方晶源将安身通用软件渠道和检测配备两大范畴,寻求横纵向开展机会,为客户供给愈加多样化的产品,向着国内集成电路范畴良率办理领导者的方针猛进。

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